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10月27日，2021年我国MEMS制作大会（China MEMS）在姑苏举办，这是现在我国MEMS职业最具影响力的大会，由我国仅有的MEMS职业安排——我国半导体职业协会MEMS分会联合微纳制作中试渠道、中科院纳米所等举办，本年现已是第三届。
会上，举办了“2020年我国半导体MEMS十强企业”颁奖仪式，宣告了上一年度国内优异的MEMS企业十强名单，该名单是现在国内最威望的MEMS企业名录，代表现在我国MEMS范畴实力最强的10家头部企业。
歌尔微电子树立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，首要聚集MEMS麦克风及模组、智能传感器及模组、SiP封装等相关事务，专心于MEMS相关产品的自主研制规划与制作，其产品已广泛使用于智能手机、无线耳机、智能穿戴、智能家居、无人机及轿车电子等范畴。
《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，我国微型麦克风代表性企业，在微型麦克风范畴，市场占有率居世界同职业之首。据Yole Development 《202年MEMS工业现状陈述》显现，歌尔在2020年全球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继上一年初次跻身前十后，仅用一年时刻排名升至第六，也是前十名中仅有一家我国企业，陈述还指出，在MEMS麦克风方面，歌尔15年来初次超越楼氏电子成为职业榜首。
上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比添加94.49%；上半年净利润17.31亿元，同比添加121.71%
瑞声科技控股有限公司为智能设备供给抢先的微型专有技能解决方案，在声学、光学、触觉反应、精细制作、微机电、无线射频和天线范畴具有资料研制、仿真、算法、规划、自动化以及工艺开发等尖端技能。
集团在规划和大批量高精细制作方面有近三十年经历，《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，我国电声元器材代表性企业，全球闻名的电声元器材制作商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS麦克风范畴，别离被工信部认定为我国制作业单项冠军演示企业。现已成为全球抢先的同行、IT及消费电子市场微型元器材全体方案供货商。
港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比添加9.90%；上半年净利润9.21万港元，同比添加187.40%
华润微电子是2002年华润集团收买华晶集团改组而成，是抢先的半导体和智能传感器供货商，总部坐落无锡，具有3条6英寸线，其间MEMS产线是国内规划最大的与CMOS出产线兼容的MEMS传感器量产出产线，具有国内抢先水平的 MEMS 外表和体硅加工技能，用于制作压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。
华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩大现已完结，并投入使用。光电及MEMS麦克风工艺渠道从6英寸晋级到8英寸，完结批量出产，产品功用及良率水平优异；全体提高了其MEMS工艺技能水平缓竞争才能。
上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比添加45.44%；上半年净利润10.68亿元，同比添加164.86%
姑苏敏芯微电子技能股份有限公司树立于2007年9月，是一家专业从事微电子机械体系传感器研制规划的高新技能企业，公司总部在姑苏工业园区，并在姑苏工业园区、昆山设有传感器产品制作工厂。
现在，凭仗自主知识产权的芯片规划，并与世界闻名Fab厂和封装厂协作，完结了公司产品的研制与工业化，并带动了MEMS上下游工业链的展开。公司三大产品线别离为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，使用场景包含了消费电子、医疗、工业操控以及轿车电子等范畴。
《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（我国）2021年我国传感器公司TOP10之一。敏芯作为我国最早树立的MEMS研制公司之一，现已具有完好的芯片规划、晶圆制作、封装与测验等全工业链的自主研制规划才能，凭仗彻底自主规划的MEMS芯片与ASIC芯片成功打破了国外厂商长时间独占的格式，为MEMS全工业链的国产化探究了一条完好的路途。
上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比添加40.17%；净利润1021.77万元，同比添加-40.05%
我国电子科技集团第十三研讨所全资子公司，我国MEMS职业协会理事长单位，专门致力于MEMS（微电子机械体系）器材与体系的研制、出产和出售。接连多年荣获“我国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS中心芯片、器材和体系产品供货商，我国MEMS技能领导者。
《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，我国MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（我国）2021年我国传感器公司TOP10之一。优势产品包含MEMS惯性器材与体系、MEMS传感器、轿车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器材等，产品广泛使用于航空航天、高铁、轿车、自动驾驶、通讯、地震监测、物联网、才智城市、智能家电等范畴。
2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS规范加工技能及在高功用MEMS 器材中的使用”经过科技部安排的专家检验，用于MEMS陀螺仪、加快度计、振荡传感器、磕碰传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高功用MEMS器材的批量加工，美泰科技6英寸产线 美新半导体（天津）有限公司
美新半导体（MEMSIC）是全球抢先的惯性MEMS传感器及解决方案供给商，于1999年树立, 现在总部坐落我国天津，在美国圣何塞和我国无锡、上海、深圳、台北设有研制安排，在我国无锡、上海具有制作和封测工厂，出售及技能支持网络广泛亚太，北美，欧洲，非洲和中东等区域。
《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，我国惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（我国）2021年我国传感器公司TOP10之一，原创开发了依据规范CMOS流程的微机电体系和全球抢先的制作工艺和测验技能，成功研制出30多种类型的加快度传感器、磁传感器等产品。
2007年在NASDAQ上市，是全球榜首家MEMS上市公司。2020年，美新取得mCube独家授权其所有惯性传感器芯片技能，全面布局电容式加快度计和陀螺仪范畴。最近完结10亿人民币A轮融资，国内最大的MEMS惯性传感器公司，具有特征工艺MEMS出产线 姑苏纳芯微电子股份有限公司
姑苏纳芯微电子是高功用高可靠性模仿芯片的研制规划企业。公司自2013年树立以来，专心于环绕各个使用场景进行产品开发，由传感器信号调度ASIC芯片动身，向前后端拓宽了集成式传感器芯片、阻隔与接口芯片、驱动与采样芯片，形成了信号感知、体系互联与功率驱动的产品布局。
在混合信号处理、高耐压数字阻隔、集成式传感器规划等范畴具有独立知识产权和丰厚技能储备，产品已作为新能源轿车、工业自动化等使用的要害芯片，成功进入多个职业一线客户的供给体系并完结大规划量产。一起公司继续加大各使用场景的产品研制，产品被广泛使用于国内闻名品牌客户，包含信息通讯、工业操控、轿车电子和消费电子等范畴。
上海矽睿科技有限公司树立于2012年9月，专心于MEMS智能传感器事务，规划和出产优质传感器产品，并为客户供给相应的智能使用方案和服务。
矽睿科技具有彻底自主知识产权，请求并成功授权70余项世界国内发明专利，专利组合掩盖MEMS工艺制程、传感器规划和ASIC规划、算法和体系使用软件等。《我国传感器展开蓝皮书》榜第一批36家具有影响力的传感器企业之一，专业从事高端MEMS传感器和执行器、微体系等技能与产品的开发、出产及出售。
西人马联合测控树立于2017年，总部坐落于福建，北方总部坐落于北京、南边总部坐落于深圳，欧洲总部坐落于法国巴黎。西人马联合测控总人数近1000人，其间科研人员约600人，具有超越500项专利，并以每年30%以上的速度递加。
EET电子工程专辑（我国）2021年我国传感器公司TOP10之一，选用IDM形式，专心于传感器芯片及相关调度芯片的研制、规划、制作和封测。
作为一家IDM芯片供货商，西人马具有先进的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的规划、制作、封测才能，依据这些先进的中心技能，西人马既能够独自给客户供给高品质的芯片产品，也能够供给相应的模组和解决方案，使用西人马先进的传感器、边际核算产品和相应的开发套件协助客户快速地搭建起具有监测与操控功用的A-IoT体系。
华虹由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制作有限公司兼并而成，自建造我国大陆榜首条8英寸（200mm）集成电路出产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。
在8英寸制作渠道上，华虹完结MEMS器材与规范CMOS工艺及出产线的全兼容。已流片的产品包含磁力计、加快度计、压力传感器等。
睿创微纳总部坐落山东烟台，是从事专用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器规划与制作的企业。
睿创微纳的8英寸MEMS晶圆出产线由公司与代工厂共建，已量产，月产能1500片晶圆。
2020年7月，与烟台开发区签署协议，建造一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。其间，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电勘探器、微波器材以及功率器材；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器材、RF MEMS器材和惯性MEMS传感器等。8、罕王微电子（IDM&代工）
罕王微电子是一家以MEMS传感器规划及制作出产为中心的高科技中美合资企业，总部坐落辽宁省沈抚新区，系罕王集团控股子公司。
罕王微电子2016年收买美信旗下MEMS传感器事务，2018年建成国内首条8英寸纯MEMS规划化量产线，工艺才能包含MEMS芯片出产全流程，规划晶圆产能36万片/年。出产传感器包含：陀螺仪、IMU惯性丈量单元、射频RF-MEMS及加快度、温度、湿度、压力、应力传感器等。
9、河北美泰（IDM）我国电子科技集团第十三研讨所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS规范加工技能及在高功用MEMS 器材中的使用”经过科技部安排的专家检验。
6英寸SOI MEMS规范工艺和封装技能用于MEMS陀螺仪、加快度计、振荡传感器、磕碰传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高功用MEMS器材的批量加工，美泰科技6英寸产线、厦门西人马（IDM）
西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）树立于2017年，是西人马MEMS高端传感器和芯片制作基地，占地70亩，建筑面积20000㎡，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研讨实验室，装备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和我国先进的MEMS器材加工渠道。
西人马19年11月取得朗润基金数千万A轮融资，20年一季度取得A+轮的1亿元人民币融资，本年3月获B轮融资，展开迅速，西人马现已成为国内MEMS范畴IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器每日产值能够到达几十万颗。
奥松电子树立于2003年，专心于MEMS半导体工艺技能，是国内首先使用MEMS半导体工艺技能出产传感器芯片的高新技能企业，也是广东省MEMS范畴集研制、规划、制作、封装测验、终端使用为一体的MEMS智能传感器全工业链（简称IDM）企业。
2019年奥松电子斥巨资打造MEMS半导体芯片出产线，一期工程净化车间总面积约2500平方米，装备湿法清洗区、百级洁净度光刻区、千级洁净度镀膜区、千级洁净度刻蚀区、千级洁净度离子注入区及观赏通道等。
2020年9月，广州奥松电子有限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片出产线正式投入运营，成功量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。
奥松电子MEMS半导体出产线纳米MEMS半导体工艺制程，出产设备约占整个出资规划的70%。依据规划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体出产线纳米制程工艺MEMS半导体出产线；总项目悉数建成投产后，每月流片规划将到达4万片，2021年8月，奥松电子官网宣告对外敞开MEMS芯片代工事务，包含设备同享、技能支持、企业孵化等服务。
2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）有限公司，将在珠海高新技能工业开发区建造8英寸先进MEMS特征半导体IDM工业基地项目。该项目建成后，将成为国内先进的MEMS芯片及智能传感器工业集群，进步MEMS芯片的代工和量产才能。
诺思微体系坐落天津，是一家无线设备射频前端MEMS滤波芯片服务商，其产品首要选用薄膜体声波谐振器(FBAR)技能以及硅衬底的微机电体系(MEMS)制作技能，一起为无线射频滤波器、双工器、和多工器等供给解决方案。
诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆出产线英寸工艺研制线。厂房和研制中心总占地面积2.7万平方米。
2021年3月，国家要点研制方案“制作根底技能与要害部件”要点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器材要害技能与渠道”的项目在诺思微体系启动，针对5G/6G无线通讯、物联网等对射频滤波器、智能传感器提出新的技能要求，对完结晶圆级硅基MEMS压电器材的大规划出产、脱节我国现在要害MEMS压电器材受制于人的局势，有重要意义。
2021年8月完结4亿元融资，估计在一年内全面加快产能开释，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规划。13、多维科技（IDM&代工）
树立于2010年，总部在江苏张家港，建造有完好的第四代磁传感技能——地道磁电阻（TMR）的磁性感应芯片产线。
多维科技的磁传感器晶圆代工厂具有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，供给完好的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开发及晶圆制作服务（包含规划、制作和测验），年产10亿个TMR磁传感器。
2021年5月多维科技获4亿元融资，将用于对现有产线进行晋级，能够进一步强化“自研、自产、技能抢先”的中心竞争力。
14、湖南启泰传感科技（IDM）2006年树立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队霸占了异质膜要害工艺与技能，建造国内榜首条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片出产线，是世界上少量几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规划化出产才能的公司之一。
2019年8月该出产线完结批量出产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺畅竣工投产，用地面积35亩，建造总用地面积2万多平米，传感器芯片年出产才能可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。
二期项目正在进行，估计竣工后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。
高德红外创立于1999年，总部坐落武汉，具有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 出产线，是现在国内仅有一条自主可控且具有批产才能的非制冷红外焦平面勘探器出产线 从低到高各类面阵规范产品类型批产才能。
高德红外现在已具有3条8英寸红外勘探器产线月音讯，年末将有新产线、武汉衍熙微器材（IDM）
武汉衍熙微器材具有全国榜首条8寸体声波（BAW）量产线，具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备，并树立立异自主开发的产品出产流程。该产线首要产品有MEMS滤波器、双工器等。2018年，武汉衍熙微器材进行项目扩建，一期为租借现有厂房5600平方米，建造3600平方米的无尘室车间；二期方案建造约10000平方米的无尘室车间，用于扩大出产。
杭州士兰微1997年树立，是国内规划最大的集成电路芯片规划与制作一体（IDM）的企业之一。自2010年开端，士兰微电子投入很多资金，经过对加快度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片出产线上完结了批量制作才能，并树立自己的MEMS封测出产线，开始走通了系列传感器的IDM展开之路，已请求相关发明专利百余项。现在士兰微MEMS传感器产品系列丰厚，有：MEMS加快度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高功用MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高功用气压压力传感器等。
2021年7月30日，士兰微宣告资产重组公告，引进国家集成电路工业出资基金股份有限公司，征集11亿元。
姑苏固锝树立于1990年，是国内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等进入MEMS传感器IDM事务。
2010年固锝收买明锐光电，明锐光电首要从事MEMS-CMOS三维集成制作渠道技能及八寸晶圆级封装技能及产线年树立明皜传感，从事微机电传感器芯片和器材的工艺开发、规划。2021年8月，明皜传感获小米出资，注册资本由 6443.64 万元人民币添加至 7085.19 万元人民币，增幅为 9.96%。
2012年树立艾特曼电子，首要从事晶圆级MEMS器材封装工艺及相关中心技能的开发并供给代工服务，服务范畴包含消费类电子产品、轿车电子、工业操控、家电范畴惯性传感器（加快度计、陀螺仪）以及红外传感器等。
2021年6月，姑苏固锝与华景传感合资树立华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS麦克风芯片规划技能与姑苏固锝的封测技能及出产经历相结合，逐渐完结MEMS麦克风在高端范畴的进口代替。
同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测项目落户姑苏。项目一期产线将树立契合华为体系规范的MEMS声学传感器的封测基地，首要客户有小米、科大讯飞等；二期将引进国内首创MEMS麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最终一道要害工艺，华锝将具有自主晶圆级封装相关自主技能知识产权。19、姑苏纳米城（中试线）
姑苏纳米城6英寸MEMS中试线由姑苏纳米科技展开有限公司（姑苏工业园区政府出资）建造，是江苏省“十二五”严重科技渠道项目。
姑苏6英寸微纳机电制作（MEMS）中试线选用市场化、全敞开的运作形式，首要展开MEMS产品工艺研制、MEMS加工、部分封装测验、专利运营、设备租借、超净场所租借、工艺技能培训等十多项专业服务，现在已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品
该产线由清华大学、淄博高新区MEMS研讨院和国高(淄博)微体系科技有限公司共同完结。
是国内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工渠道，超净规划国内一流；装备了世界一流设备的中试代工线，中试出产才能可达月产传感器十万只，产品的测验环境也居国内先进水平。21、中科院微电子所（中试线年由中科院微电子所建立的MEMS研制渠道，其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加快度计、依据氧化钒的红外图画传感器、医用CT中X-ray勘探、依据薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外勘探器等产品。
22、上海微技能工研院（中试线年，上海微技能工业研讨院（以下简称“工研院”）构建的国内首条，全球抢先，兼容CMOS的8英寸研制中试线正式投入运营，月产值将到达3000件。
该产线布置了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内榜首条先进8英寸研制中试线英寸研制中试线不仅可承当产品研制、小批量出产、技能培训、设备验证等服务，有助于提高研制的成功率。
本年6月，上海微技能工研院宣告将8英寸线每年四分之一的总机时赞助给上海大学，用于微电子学院教育实践，为期5年。23、中科院上海微体系所（研制渠道）
我国科学院上海微体系所现有的MEMS技能渠道由微体系加工渠道和微体系封装渠道两部分组成，别离坐落上海微体系所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。
整个渠道具有100多台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，能够完结从微芯片制作、芯片封装、器材测验、微体系集成等成套工艺，为微体系研讨供给有力的技能保证。来历：今天半导体
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